曲線
準則 |
*最大位準
(μinch/sec) |
製程最高
解析度(μm) |
適用場合 |
| 工廠 |
32000(90) |
* |
可清楚的感覺到振動，適用於工廠及對振動不敏感的區域。
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| 辦公室 |
16000(78) |
* |
稍微可感覺到振動，適用於辦公室及對振動不敏感的區域。
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| 住宅區(白天) |
8000(78) |
75 |
幾乎感覺不到振動，一般的臥室或起居室都符合
此一要求，大部分的電腦設備、測試用的探頭設備及低倍率的顯微鏡(X 20倍以下)均可勝任。
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| 手術室 |
4000(72) |
25 |
感覺不到振動，適用於低倍率的顯微鏡(X 100倍以下)及其他對振動敏感度較低的儀器。
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| VC-A |
2000(66) |
8 |
放大倍率至400倍的光學顯微鏡在此環境下均可勝任。 |
| VC-B |
1000(60) |
3 |
1000倍以下的光學顯微鏡，3?m製程的光學檢測設備及光學平板印刷設備(包括步進機-Steppers)均可適用於此一規格。
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| VC-C |
500(54) |
1 |
此準則為1μm製程的光學檢測設備以及光學平板印刷設備的一良好之規範標準。 |
| VC-D |
250(48) |
0.3 |
大部分的設備包括電子顯微鏡(TEM及SEM)及E-Beam系統在運轉時都會要求振動環境要在此範圍內才可保障設備的性能可充分發揮。 |
| VC-E |
125(42) |
0.1 |
在大部分的情況下此一標準不易達到。通常是一些以雷射為主、行程較長、聚焦點較小的設備或其他的系統才會要求如此的振動環境。 |
| *頻率範圍8~100Hz。 |
*後面括弧內顯示的數值為dB,reference
level: 1 。 |
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