曲线
准则 |
*最大位准
(μinch/sec) |
制程最高
解析度(μm) |
适用场合 |
| 工厂 |
32000(90) |
* |
可清楚的感觉到振动，适用于工厂及对振动不敏感的区域。
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| 办公室 |
16000(78) |
* |
稍微可感觉到振动，适用于办公室及对振动不敏感的区域。
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| 住宅区(白天) |
8000(78) |
75 |
几乎感觉不到振动，一般的卧室或起居室都符合
此一要求，大部分的电脑设备、测试用的探头设备及低倍率的显微镜(X 20倍以下)均可胜任。
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| 手术室 |
4000(72) |
25 |
感觉不到振动，适用于低倍率的显微镜(X 100倍以下)及其他对振动敏感度较低的仪器。
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| VC-A |
2000(66) |
8 |
放大倍率至400倍的光学显微镜在此环境下均可胜任。 |
| VC-B |
1000(60) |
3 |
1000倍以下的光学显微镜，3?m制程的光学检测设备及光学平板印刷设备(包括步进机-Steppers)均可适用于此一规格。
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| VC-C |
500(54) |
1 |
此准则为1μm制程的光学检测设备以及光学平板印刷设备的一良好之规范标准。 |
| VC-D |
250(48) |
0.3 |
大部分的设备包括电子显微镜(TEM及SEM)及E-Beam系统在运转时都会要求振动环境要在此范围内才可保障设备的性能可充分发挥。 |
| VC-E |
125(42) |
0.1 |
在大部分的情况下此一标准不易达到。通常是一些以雷射为主、行程较长、聚焦点较小的设备或其他的系统才会要求如此的振动环境。 |
| *频率范围8~100Hz。 |
*后面括弧内显示的数值为dB,reference
level: 1 。 |
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